臭氧检测仪采用紫外吸收法原理，利用稳定的紫外光源产生紫外光，利用光波滤光片滤除其他波长的紫外光，只允许波长253.7nm通过。通过样品光电传感器后，再通过臭氧吸收池，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和样品光电传感器的电信号，再通过数学模型的计算，即可得到臭氧浓度。
  臭氧浓度的数学模型（如公式）是根据该规律推导出来的。在这个臭氧浓度计算公式中，我们只要知道采样电流、采样电流和臭氧吸收池的距离就可以计算出臭氧浓度。由于臭氧吸收池距离的限制，最大臭氧浓度只能测到300O3g/m。
维护臭氧检测仪时应掌握以下步骤：
1、外观擦拭步骤：首先用干燥的细棉布或擦拭纸擦拭仪器外观，擦去灰尘或油渍等损伤。然后用干净、干燥的棉布蘸工业酒精擦拭仪器外观，特别是金属和非金属表面
2、显示屏擦屏步骤：
先用擦镜纸轻轻擦拭镜面，不要用力，以免镜面损坏，用棉签蘸工业酒精轻轻擦拭镜面，等酒精挥发后再装上它。镜擦可分为校正镜和镜头内的镜组。灰尘颗粒会造成成像黑点，镜面清洁很重要。安装完成后，需要再次用图像观察擦拭效果。
3、擦拭旋转部分的步骤：
用干燥的细棉布或擦拭纸擦拭摩擦面，擦去灰尘或油污。
您也可以使用吹风机吹掉灰尘。
必要时用干净的细干棉布蘸工业酒精或高级润滑油擦拭摩擦面。